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                      上海眾毫工業科技有限公司
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                      ZHC09-RS422

                      氣體質量流量控制器ZHC09

                      產品特性:

                      *支持多種通訊協議

                      *高精度、高穩定性

                      *可控制多種氣體 

                      *可選配控制設備同時控制多臺

                      *可控制瞬時流量和累積流量

                      *安裝容易 操作簡單 方便維護

                      應用領域:

                      *分析儀器  *生物技術 *真空鍍膜

                      *氣相色譜  *激光焊機  *化學化工實驗室

                      安裝尺寸:

                      2.png       

                      技術參數:

                      1

                      流量規格

                      0^5、10、50、100、300、500SCCM , 1、2、3、4、5SLM

                      2

                      控制和顯示精度

                      0.1sccm

                      3

                      準確度

                      + 0.5% F.S.

                      4

                      線性度

                      + 1% F.S.

                      5

                      重復精度

                      + 0.5% F.S.

                      6

                      響應時間

                      < 1s

                      7

                      工作壓差

                      0--1MPa

                      8

                      最大耐壓

                      1.1MPa

                      9

                      環境溫度

                      0-70

                      10

                      電氣連接

                      Db9(公頭)

                      11

                      供電電源

                      15-40VDC

                      12

                      模擬量

                      DC 0-5V

                      13

                      數字量

                      RS485、RS232、RS422、CAN總線

                      14

                      氣路接頭

                      4mm、6mm、M8*1

                      15

                      氣路管徑

                      3mm、3.2mm、4mm、6mm

                      16

                      氣體種類

                      Air He   Ar  N2 O2  H NO  CO

                      CH4  CO2  NO2  N2O  NH3

                      電氣連接:


                      RS485

                      RS232

                      RS422

                      CAN總線

                      PIN 1

                      VCC

                      VCC

                      VCC

                      VCC

                      PIN 2

                      Set

                      Set

                      Set

                      Set

                      PIN 3

                      Moniter

                      Moniter

                      Moniter

                      Moniter

                      PIN 4

                      None

                      None

                      Z

                      None

                      PIN 5

                      GND

                      GND

                      GND

                      GND

                      PIN 6

                      None

                      None

                      Y

                      None

                      PIN 7

                      B

                      TX

                      B

                      CANH

                      PIN 8

                      A

                      RX

                      A

                      CANL

                      PIN 9

                      DGND

                      DGND

                      DGND

                      DGND

                      產品型號表示:

                       

                      ZHC09---

                       

                      注:  =數字協議(RS485/RS232/RS422/CAN),

                            =氣體類別(Ar/O2/H2/CO2/Air等)

                      =流量量程

                       

                      范例:ZHC09-RS485-Air-500