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                      上海眾毫工業科技有限公司
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                      控制器儀表

                      MFC的控制器儀表是專門針對本公司產品ZHC09開發的一款氣體瞬時流量/流量累積量控制的工控產品,與MFC配合使用可以手動/自動控制氣體瞬時流量輸出,

                      手動/自動循環控制氣體流量累積量的輸出,含一路可編程的輸入控制端口,一可編程的LED和一固定的LED顯示。

                      一個儀表可以同時控制及顯示最多16MFC,相對MFC的配置支持掉電保存。

                      機械尺寸

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                      技術指標

                      瞬時流量控制范圍:0~500sccm

                      瞬時流量控制及顯示精度:0.1sccm

                      累積流量控制范圍:0~65L

                      累積流量控制及顯示精度:1mL

                      環境溫度:0~65℃

                      通訊協議:CAN總線(帶電氣隔離)

                      輸入控制:光電隔離輸入

                      輸出控制:集電極開路輸出

                      電源:8~40VDC